清华年夜学质料学院承袭“坚贞坚卓”的院训，育年夜国之材；质料师生以“顶天登时”为己任，成时代之料。雕琢奋斗数十年，硕果累累；瞻望奋进新征程，拓新不息。值此清华年夜学112周年校庆暨质料学院建设10周年之际，质料学院本研协力，慎密缭绕「坚贞坚卓，雕琢拓新」主题，开设质料学院“校友专访”系列采访，经由历程采访质料学院卓异校友和教员，通报清华质料人的模范气力，为造就高本质、立异型质料人指路引航。

李卫平易近 博士，上海集成电路质料研究院首席科学家、研发副总司理，中科院上海微体系与信息技术研究所研究员、博士生导师。清华年夜学质料系1987级本科，美国犹他年夜学博士，曾经前后就职在美国存储器芯片公司、中芯国际、美国集成电路质料公司等。持久从事集成电路工艺与质料领域研究事情，于低介电常数绝缘层工艺、原子层沉积等领域取患上多项立异性结果。拥有多年制造工艺，质料研发、产物及技术战略经验，近百项美国授权发现专利发现人，多篇学术论文作者，PECVD低介电常数介质及ALD工艺的发现人之一。

【集成电路质料的主要职位地方】

集成电路质料是一个工业的划分，而不是一个科学的划分。它包罗了于集成电路中利用的所有质料，包罗衬底质料（如硅、碳化硅、氮化镓等）、器件质料（如电容器等）、工艺质料（如光刻胶、先驱体、抛光液、电镀液、洗濯液等）以和零部件辅材及原质料。此中，衬底器件、工艺、原质料及辅材均可以叫做集成电路质料。这些质料的质量对于在集成电路的性能及稳定性有着至关主要的作用。

今朝集成电路质料重要面对诸多洽商问题：高纯质料（包罗种种酸、碱、醇、气的提纯等）；配方类的质料（如质料胶、光刻胶、注液、洗濯液等等）；要害原质料（如抛光液中的SiO2颗粒、高纯及高一致性的金属靶材等）等许多严峻依靠入口。李卫平易近师兄说：“集成电路质料它的突破对于国家的主要性是显而易见的。”

【质料设计的挑战及机缘】

于谈到海内相干工业的生长时，李卫平易近师兄说道：“中国现在真正缺少的，一个是高端质料，工艺制程的转变对于质料的要求提高了。第二个是配方类的质料，好比质料胶、光硅胶、注液、洗濯液等有好几种配方原料，可是对于配方变化带来性能的转变，是咱们今朝没有掌握的。”

今朝来看，集成电路碰到的挑战重要体现于：一、高端质料。光刻机精度愈来愈高，要求其用到的质料质量随之不停提高，到达高端质量的水平。二、配方类质料。配方类质料化学身分多盘算繁杂，亚洲必赢24小时客服-从试验室到机台量化生产，液体流动前提差异，致使实历时配方类质料质量差。三、原质料。例如我国于抛光液及靶材领域产量做到很年夜，可是抛光液的原质料二氧化硅颗粒及高纯的金属靶都受制在外洋。

对于在这些，李卫平易近师兄于讲座中提到，第一是要设置装备部署公共研发平台；第二是解决要害焦点技术；第三是引领新先导技术，研究进步前辈技术节点；第四是孵化搀扶。“咱们现在就是要于质量上做到一定水平，再往上做。”

随后，李卫平易近师兄先容了上海集成电路质料研究院所设立的几个试验室：针对于300妹妹年夜硅片做薄膜等工艺的运用试验室；对于质料举行测试表征的性能试验室；高份子合成，以树脂合成为主的合成试验室；另有有很是主要的盘算试验室，工艺仿真可以很年夜水平上削减研发时间及研发成本，仿真时因为繁杂的质料性能参数，需要重大的盘算量，可以引入机械进修削减盘算时间。

【发问交流环节】

于交流发问环节中，同窗们及李卫平易近师兄就企业与研究所研究的差异，集成电路工业的领导才气造就及海内企业的追逐与立异问题举行了深切地交流。李卫平易近师兄谈到，对于在企业的研究而言，终极形成可以盈利的产物是终极的研究目标。对于在外洋特别是美国的企业，其立异能力是很强的，而海内企业的产物重要以产物的替换为主，仍处于追逐阶段。因为摩尔定律的存于，集成电路行业内的研究往往着眼在推测五年甚至十年后的技术生长，而且有着超前的计划及结构。如许的研究计划其实不是原封不动的，会凭据技术的生长及质料的研究举行动态调整，而海内的企业今朝往往缺乏如许的战略性思索及计划。只有拥有如许的战略思索能力的人，才气成为行业的首脑，引领行业的进步。

而对于在怎样造就自身的领导力，成为行业的领甲士才，李卫平易近师兄跟各人分享道，作为团队的首脑，一个团队的乐成与否很年夜水平上依靠在首脑的标的目的引导与协调能力。想要成为一个好的团队首脑，需要经常站于首脑的角度思索问题，造就自己的首脑视线。各人要勇于发表自己的设法，要成心识地站于更年夜的角度去看问题，使用清华的情况及平台，造就自己的首脑视线。

谈到追逐与立异的均衡，他说道，中国的企业应该削减追逐的心态，要有逾越的心态，只有于供应链中掌握焦点的技术，告竣自身的不成替换性，才可以从泉源上防止洽商问题。其次形成成熟的研究团队，不管是质料，装备，器件，生产能力都需要时间沉淀。

【对于同窗们的寄语】

于说起给学弟学妹们一些人生建议时，李卫平易近师兄体现要不停寻求咱们的校训，自强不息，厚德载物。自强不息就是要连结这类不停寻求的精力，信赖同窗们能于人生中找到喜欢的，有热忱的事业。厚德载物是要相助，要可以或许把人、把资源使用起来，同时连结激昂大方年夜度，如许人生之路才气宽广。年青的时辰都感受自强不息另有是一个标语，但现实上人生走下来才会明白此中的原理。

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